扫描探针显微镜是一个大家族，针对不同的专业领域的研究需要，一些新的功能模块，甚至是品种会不断地被开发出来。2001年，我们在业内率先提出了SPM模块化、通用化发展的设计思路，在上海市和国家项目基金的支持下，我们设计了强大的MicroNano NewSPM通用平台体系，在此基础上持续高效地创新，始终以领先一步的技术开发优势赢得了我们的用户。
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   ZL 3000型SPM就是这一行业发展趋势下的产物。这是目前国内功能最全、配置最高的一款多模式扫描探针显微镜。
　

以下是MicroNano ZL系列产品的性能特点介绍：

    在用SPM进行科研时，样品往往是非均质的，或者要测量膜厚、台阶、晶界，这就需要用CCD在毫
    米量级的视场内搜索并且用高精度电控样品移动平台以纳米级精度把被测区域定位到针尖下方，然后运
    用大量程自适应扫描器不更换技术从大范围数十微米直到原子级分辨连续反复测试。如果没有这两项功
    能，就无法实现这些需要定位的应用，而且在大范围扫描时发现的样品特征，如想缩小范围高分辨地观察
    细节，用别的产品就必须更换扫描器，更换时样品就移动了，再也无法找到之前的特征点把针尖定位在
    前一个测试点上。

1.  纳米定位功能模块
2. 膜厚、台阶测量功能
    国内独家在SPM仪器上增加专业的膜厚测量/台阶仪功能，用SPM仪器测量膜厚的技术关键在于有效搜寻到并能够控制探针移动到薄膜或者台阶的边沿，利用我们的高精度电控样品移动平台配合CCD系统就可以做到。
3. 摩擦力显微镜功能模块
    能定量评价极轻载荷下（10^-7--10^-9N）薄膜材料的摩擦学特性，获取微观摩擦系数；能精确定位针尖悬臂与扫描方向的角度；独创在F-Z测量时可同步测到侧向力变化；独创连续改变正压力扫描方式；独创对分扫描方式；扫描及正压力改变时可以精确分析针尖变形特性，为横向力和摩擦力的标定提供更加真实全面的计算依据。
4. 扫描探针声学显微镜功能模块（SPAM）
    SPAM是中科院上海硅酸盐研究所殷庆瑞教授发明研制的，该产品采用声学原理成像，能够获得反映材料亚表面纳米尺度结构的声学像和性能的原位检测，并能够比AFM更好地获得表面形貌图像的细节，特别适合材料、电子、生物领域的科研和生产检测使用，效果见下图。该产品已经部分精工、VECCO的AFM上配套使用。我公司是唯一与硅酸盐所合作进行SPAM国产化的厂商。殷教授发明的扫描电声显微镜荣获国家发明二等奖，产品已销往德国、美国、日本等发达国家。

        通用平台框架结构设计，使得系统具有非常大的扩展冗余空间，且能够保证产品更新换代的兼容性。
    更重要的是，它完善的开放性设计和规范标准的中枢神经系统模型的总线结构有利于促进打开SPM的隘口，
    即使是业外人士，也可在短时间内进行高质量二次开发，构建崭新的SPM功能。

  面对高端科研用户：
        中科院院长路甬祥说：“买来的仪器只能做二流的工作，除非在买来的仪器上做一流的改进，才能
    做出一流的全新的工作。”
        如果您有基于SPM的特殊功能要求，您可以在我们的通用平台上二次开发，加载功能模块，您也可
    以把您的要求提供给我们，由我们为您开发。
        目前为止，我们已经应用SPM通用平台---
        和上海硅酸盐所合作开发了扫描探针声学显微镜功能；
        和上海交大合作开发了摩擦力显微镜功能；
        应长春光机所要求开发了膜厚测量功能；
        应西安交大要求开发了液相原子力显微镜功能；
        应广西大学要求开发了磁力显微镜功能。

  面对研究性开放性教学：
        我们提供通用平台二次开发模板，学生可以利用仪器本身独特的开发模板和良好的开放性设计，开
    展有关压电陶瓷非线性、扫描隧道谱、图像边缘识别、纳米刻蚀加工、纳米材料制备和表征、微小形变
    测量方法（如光杠杆实验）等方面的研究和实验教学工作。
        目前我们已经同一些高校就该方面的实验教学工作开展了广泛的合作。