扫描探针显微镜与扫描电子显微镜相比，两者虽然只相差两个字，但是却是完全不同的两种设备，当然，其价格也是不一样的，那这两者具体都有哪些差异呢？

　　1、从功能上看：和传统的显微镜相比，本显微镜具有高分辨率，可以轻易的看到原子，且它所得到的是实时的、真实的样品表面的高分辨率图像，从使用环境上来看，其使用环境较为宽松，既可以在真空中工作，又可以在大气中、低温、常温、高温，甚至在溶液中使用；而扫描电子显微镜对于使用环境要求比较严苛，样品必须安放在高真空条件下才能进行测试。

　　2、从原理上看：本显微镜由于其工作原理是控制具有一定质量的探针进行扫描成像，因此扫描速度受到限制，检测效率较其他显微技术低；由于压电效应在保证定位精度前提下运动范围很小（目前难以突破100μm量级），而机械调节精度又无法与之衔接，故不能做到像扫描电子显微镜的大范围连续变焦，定位和寻找特征结构比较困难；目前本显微镜中广泛使用管状压电扫描器的垂直方向伸缩范围比平面扫描范围一般要小一个数量级，扫描时扫描器随样品表面起伏而伸缩，如果被测样品表面的起伏超出了扫描器的伸缩范围，则会导致系统无法正常甚至损坏探针。因此，对样品表面的粗糙度有较高的要求。

　　3、从用途上看：扫描探针显微镜的应用领域是宽广的，无论是物理、化学、生物、医学等基础学科，还是材料、微电子等应用学科都有它的用武之地。而扫描电子显微镜基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察，大景深图像是观察的特色，例如：生物学，植物学，地质学，冶金学等等。

　　4、从价格上看：两者从价格上比，扫描电子显微镜要贵得多。

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