扫描探针显微镜是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜(原子力显微镜，静电力显微镜，磁力显微镜，扫描离子电导显微镜，扫描电化学显微镜等)的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器。
　　扫描探针显微镜的基本工作原理是利用探针与样品表面原子分子的相互作用，即当探针与样品表面接近至纳米尺度时形成的各种相互作用的物理场，通过检测相应的物理量而获得样品表面形貌，主要由探针、扫描器、位移传感器、控制器、检测系统和图像系统五部分组成。
　　控制器通过扫描器在竖直舛由方向移动样品以使探针和样品之间的距离稳定在某一固定值;同时在x-y水平平面移动样品，使探针按照扫描路径扫描样品表面。该产品在稳定探针与样品间距的情况下，检测系统检测探针与样品之间相互作用的相关物理量信号。在稳定相互作用物理量的情况下，则通过竖直方向礴由位移传感器检测探针与样品之问距离，图像系统则根据检测信号(或探针与样品间距)对样品表面进行成像等图像处理。
　　根据所利用的探针与样品之间相互作用物理场的不同，扫描探针显微镜被分为不同系列的显微镜。其中扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)是比较常用的两类扫描探针显微镜。扫描隧道显微镜是通过检测探针与被测样品之间的隧道电流的大小来检测样品表面结构。原子力显微镜是通过光电位移传感器检测针尖一样品间的相互作用力(既有可能足吸引力，也有可能是排斥力)所引起的微悬臂形变来检测样品表面。
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