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中国专业扫描探针显微镜的技术引领者

  • 起源于1990年成立的中国科学院上海原子核所STM项目组,致力于中国最早期的专业SPM发展研究。创新发明了大量程高精度自适应扫描器不更换技术,实质性解决了扫描器量程和精度之间的矛盾这一长期以来困扰业界的技术瓶颈,仪器的核心分辨率指标达世界先进水平。
  • 在纳米定位技术、SPM通用开放平台结构、模块化可升级体系、ARM内核、多通道可扩展结构、纳米级电控样品移动定位平台、200毫米大样品台工业级SPM等专业方面创造了多项中国第一,因其先进性和远见性逐步成为国内SPM行业追随的技术发展方向,成为领跑者。
  • 是SPM领域内多项核心专利(自适应多形变量程模式压电陶瓷扫描器、扫描探针显微镜的智能针尖连接结构、高精度光纤定位系统)的拥有者。
  • 开发出多达19个功能模块的SPM可扩展系统,在国产SPM仪器中具有最多的功能模块,并始终保持拥有3-4项独家提供的功能模块的技术领先优势。

 创造多项中国第一的专业扫描探针显微镜制造商

  • 国内唯一实现了SPM行业内重大的创新技术——单一多量程自适应扫描器不更换专利技术,有效解决了一直以来科研型SPM既要能大范围扫描,同时又要保证高精度成像的矛盾,值得自豪的是,作为业界领头羊地位的美国DI公司直到2008年前后才发布了实现该技术的高端仪器,而我们早在2004年就申请了专利,目前已有近百家用户在得益于该技术带来的便利。
  • 国内唯一实现了电控样品移动平台技术,使SPM仪器能够在5mm见方的范围内实现纳米级的样品移动、重复定位以及智能编程操作,使国产SPM彻底告别了落后的手动调节样品机构,在样品定位技术方面达到国际先进水平。该技术即使在进口仪器上也只有少数厂商的高端工业级设备上才会配置。
  • 国内第一家提出SPM仪器开放、通用、模块化兼容的研发思路,SPM通用平台技术的研究2001年得到上海科委纳米基金和国家中小型企业创新基金的立项资助,2002年该项目通过专家鉴定。现在,该思路的先进性和远见性逐步被业内其他厂商接受,纷纷加入使SPM开放、兼容、模块化的研发行列。
  • 国内首家提出双12位AD/DA差分同步独立高压放大技术,该技术的创新使得SPM核心分辨率指标有了很大突破,同时又兼顾了执行速度,2004年2月,产品全面升级到双16位。该技术目前已被国内多家厂商引进。
  • 国内首家研发出基于windows操作系统的拥有自主知识产权的SPM软件控制系统。
  • 国内首家研制出与同类进口仪器核心分辨率指标一致的磁力、静电力显微镜。
  • 国内唯一研制成功8英寸大样品台工业级扫描探针显微镜,代表了国产SPM行业内综合技术开发最高水平。
  • 国内首家将多通道同步采集技术应用到SPM系列产品中,实现了16个数据采集通道中任意4通道可进行完全同步采集,同时在4窗口对比成像功能,使实验数据不会因为采样时间先后和外部环境的改变形成时域状态误差。该技术在2005年后逐步被国内多家厂商引进,但在“同步”技术上与我们的设计仍存差距。
  • 国内唯一开发出SPM网络实验室功能,支持远程网控技术,使SPM仪器的远程培训、远程故障检测、远程实验成为现实,并且给用户提供一个集思广义的交流平台,使远程服务成为可能。
  • 国内首家开发出扫描声学显微镜功能(与中科院上海硅酸盐所合作开发),实现了材料表面以下纳米尺度结构和物化特性的原位实时检测,为在纳米尺度上开展材料亚表面结构和性质及其相互关系的研究提供新的技术平台。
  • 国内首家开发出扫描热学显微镜功能(与中科院上海硅酸盐所合作开发),从而使获得样品表面热分布和相关热物理性质等信息成为可能。
    ......

在纳米定位技术领域的远见卓识

  • 和国内其他SPM厂商不同,我们的经营领域更加宽广---以纳米定位技术(NanoPosition™ Technology)为核心的应用技术的开发,这些技术分别涉及到SPM、光纤通讯、超高精度加工、集成电路大样品检测、高精密电子元件生产流程测控、纳米光学系统、超高分辨CCD等各个行业。
  • 早在2001年就提出SPM通用、兼容、可扩展的前瞻性发展战略。SPM是一种极具潜力的检测分析仪器,甚至微加工设备,其种类和功能在今后将有长足的发展和突破,各家关起门来打造各成体系的仪器是既不利于也不适应其发展趋势的。目前的SPM产品种类单调,功能也有很大的局限,这从很大程度上延滞了SPM市场的成长。只有规范通用标准的软硬件接口,并且开放接口,使其兼容,才能够使各家集中精力发展自己的优势,并为优势的互相整合提供了可行的途径,最终打造出整体品质优良,功能强大的SPM仪器,以应市场发展的需要。
  • 我们今天的创新成绩只是一个不错的起步,今后的腾飞之路还很长。正因为我们站在纳米定位技术这个更高的平台上,所以我们有信心飞得更高、更远!
脚注信息
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