MicroNano® ZL ID-200型 大样品台原子力显微镜

     这是一款大样品台工业级的多模式扫描探针显微镜，是目前国内唯一可以测量直径达200mm大样品的SPM仪器，而且分辨率精度超过其它同类型的进口仪器。
    ZL ID-200型包含扫描隧道显微镜和原子力显微镜，可测量表面形貌、粗糙度等。最大可以放置直径200mm的大样品，采用三级高精度二维样品移动平台，以保证整个样品无扫描盲区，样品移动精度达到350nm。适用于工业级集成电路、圆晶片、硅片检测。
   
技术指标

扫描模式：STM恒流/恒高模式；AFM接触/横向力/轻敲模式。
纳米加工功能：矢量刻蚀、图形刻蚀；
最大扫描范围：50μm×50μm扫描器
            (应用3项专利技术，不用更换小范围扫描器，直接达到HOPG原子分辨率精度。可选100μm扫描器)
分辨率：STM（X-Y向0.2nm；Z向0.02nm）        AFM（X-Y向0.3nm；Z向0.04nm）        
超大样品台设计：样品尺寸≤Φ200mm，样品厚度≤12mm，重量≤15g
高精度X-Y样品移动平台：计算机控制，移动范围3mm×3mm，最小步进50nm
高分辨彩色CCD观测系统：视场1.6mm，光学分辨率1.5um，配套控制成像软件。
样品趋近：选用高精度高速电机，步进马达控制自动逼近，行程<30mm，步长23nm
                                                                                                                                                                                                                             智能针尖识别功能：系统能自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工干预。
采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，纹波噪声±150V时达到1.5mV，信噪比200000：1
扫描频率：0.1～100Hz
电流检测灵敏度≤10pA，力检测灵敏度≤5pN
计算机接口：USB2.0接口
16个数据采集通道，其中任意4通道物理量同步采集、4窗口同时对比成像。
扫描角度：-180 ~ +180°
图像采样点：256×256 / 512×512 / 1024×1024/ 2048×2048
软件适用于WIN98/2000/XP/WIN7操作系统
系统智能记忆/自学习功能：一旦一个参数改变，与之相关的参数会根据系统经验自动调节到最佳范围，操作更加简便。