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智能型扫描探针显微镜通用平台的研究 |
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在MicroNano
GB-I型扫描探针显微镜通用平台的基础上，我们正在继续开发II型（智能型） |
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通用平台。 |
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II型通用平台是根据人体神经系统控制原理，采用分级控制的方法，对整个系统进行状态检 |
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测、数据采集和行为控制。 |
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整个控制体系分为三级，分别为计算机、中枢控制器和前置控制器。 |
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中枢控制器为MCU，使用DSP,它除了作为中枢控制器外，还可以承担系统的数据信号处理任 |
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务；MCU具有在线下载功能，其中的控制程序都可由计算机通过EPP下载。一台计算机可以控制 |
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256个中枢控制器。 |
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前置控制器使用带MCU的智能控制器件，其中的控制程序可由中枢控制器下载。 |
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中枢控制器和前置控制器间通过I2C总线进行通讯。每个中枢控制器可以控制若干个前置控制 |
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器。 如此就构成了全智能、现场可升级和修改的通用控制平台。 |
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针对不同的应用,只需编制不同的中枢控制器软件和前置控制器软件,现场下载到中枢控制器 |
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和前置控制器中，就可实现各种不同的应用，而除了最前端的执行器外的整个硬件控制系统都 |
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不必作任何改动。如此就可以极大地加快智能型计算机控制系统的开发速度。
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将扫描探针显微镜通用平台与阵列针尖一起构成一个强大的系统，可用于大范围高速、高精度样 |
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品表面成像，而且可以很容易的完成电子束大范围高速刻蚀，从而使纳米电子器件从实验室走向 |
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批量生产。 |
