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ZL 3000型
扫描探针显微镜 |
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功能简述：
您知道，扫描探针显微镜是一个大家族，针对不同的专业领域的研究需要，一些新的功能模块，甚至是品种会不断地被开发出来。ZL
3000型扫描探针显微镜就是这一行业发展趋势下的产物。2001年，我们在业内率先提出了SPM模块化、通用化发展的设计思路，在上海市和国家项目基金的支持下，我们设计了强大的MicroNano
NewSPM通用平台体系，在此基础上高效地创新新功能，始终以领先一步的技术开发优势赢得了我们的用户。如果您对我们技术创新历程感兴趣，可以点击了解公司介绍—创新历程中的有关内容。
ZL 3000型目前可实现单机集成扫描隧道显微镜，原子力显微镜的接触、侧向力、轻敲、相移工作模式，扫描声学显微镜（国内独家配置），磁力显微镜，摩擦力显微镜，静电力显微镜，液相SPM，导电原子力显微镜，台阶/膜厚测量功能，纳米加工刻蚀功能，样品加热台装置，环境检测功能，高精度样品定位功能（该功能模块由高分辨彩色CCD观测系统、高精度计算机自动控制样品移动平台（国内独家配置）、大范围高精度自适应扫描器（全球独有核心关键技术，可实现从120微米—几纳米扫描范围连续定位高精度成像）三部分组成），样品特殊定位搜寻功能等。
这是目前国内功能最全、配置最高的一款多模式扫描探针显微镜。
ZL 3000型不是一款固定配置的机型，所以选购ZL
3000型的方法是根据您的专项科研需求，咨询我们的销售工程师，任意组合选配功能模块。请注意，由于有些模块（如静电力、磁力、导电力、加热台等）并非常规科研所需要的，您应该仔细了解各个功能模块，选购符合您专项科研需求的功能部分，当然，如果您今后再需要这些功能，也可以二次购买，模块化升级。
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1.扫描系统： |
1.1 扫描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲线测量；
AFM接触/横向力/轻敲/相移/抬起/RMS模式，力曲线
、振幅-距离曲线、频率-相位曲线
相位-距离曲线、频率-振幅曲线 测量分析 |
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1.2 最大扫描范围：50μm*50μm扫描器（可选配100μm*100μm/120μm*120μm扫描器） |
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单一
大量程自适应扫描器不更换技术，最大120μm扫描器可达HOPG原子分辨率 |
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1.3 分辨率： |
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扫描隧道显微镜STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定标 |
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接触模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定标 |
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轻敲模式AFM：X-Y向0.2nm，Z向0.1nm；DNA样品验证 |
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单一
大量程自适应扫描器不更换技术，最大120μm扫描器可达HOPG原子分辨率 |
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1.4 样品台尺寸：直径≤Φ70mm，厚度≤30mm，重量≤15g |
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1.5 探针识别：自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工干预。 |
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1.6 探针保护：独特设计的针尖保护技术，包括自动进针保护和平滑移动保护，能有效降低样品对 |
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针尖的损伤，使仪器长时间保持高分辨图像。 |
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1.7 探针趋近：高精度高速伺服电机，控制针尖自动逼近样品，行程<30mm，步长<23nm |
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1.8 样品移动：计算机控制
高精度电控样品移动平台（国内独家配置） |
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1.9 纳米加工：矢量刻蚀功能
、图形刻蚀功能、压痕/机械刻画、电脉冲刻蚀
（右图为图形刻蚀楷体“扫描探针显微镜”字样） |
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2.样品定位功能模块 |
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2.1 高分辨彩色CCD光学显微系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80—600倍，视场 |
1.6mm，
工作距离10cm，配套控制及成像软件。一体式设计，工作过程中不必移开，可全程
随时观测。 |
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2.2
高精度电控样品移动平台：计算机自动控制，配合光学显微系统进行精确样品移动和定位。全程可视 |
2.2.1
移动范围5mm*5mm，单步最小步长50nm
2.2.2
高精度电控移动平台和单一大量程自适应扫描器技术结合，实现从最大量程到最小几纳米扫
描范围内，全程计算机控制样品定位，无盲点
2.2.3 直接用鼠标拖动待测区到目的地，计算机控制移动平台自动移动
2.2.4 可任意设置原点位置，一键返回（计算机控制移动平台自动回到设置的原点位置）
2.2.5
可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台自动到达各设定的测样点
2.2.6 可直接输入X、Y方向移动数值，计算机控制移动平台自动定位 |
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国内独家配置，其它厂商只提供手动调节的精密螺杆移动平台，无法实现样品精密定位搜寻。 |
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2.3
单一
大量程自适应扫描器：最大120μm扫描器可达HOPG原子分辨率
，测样过程中不用更换扫描器 |
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可实现从120微米—几纳米扫描范围连续定位高精度成像（全球独有核心关键技术） |
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3.控制系统： |
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3.1 控制/采集精度：采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，16通道双16位A/D |
（精度相当于23位）；12通道16位D/A；4通道双16位D/A（精度相当于23位）
集成数字锁相放大技术和直接数字频率合成技术 |
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3.2 反馈方式：8通道 数字化反馈+数控模拟反馈 |
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3.3 中枢控制器：32位ARM技术，16 M RAM ，2M Flash ROM |
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3.4 中枢总线：数字总线：速度24M/s，宽度16位； |
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外部地址总线：速度24M/s，宽度8位； |
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固件下载总线：速度500Kb/s，宽度8位，可直接远程下载升级可编程电子器 |
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件中的程序；模拟总线：-10～+10V，信噪比200000：1。 |
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3.5 中枢总线余量：3通道16位D/A；3通道双16位A/D（精度相当于23位）；20位DIO |
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3.6 扩展余量：16通道16位D/A；16通道双16位A/D（精度相当于23位） |
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3.7 高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；4通道双16位D/A（精度相当于23位）提供扫描器XYZ |
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三个方向的控制电压；可扩展到8通道 |
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3.8 计算机接口：USB2.0接口 |
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3.9 扫描频率：0.1～300Hz |
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3.10 扫描角度：-180˚~180˚连续可调 |
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3.11 图像采样点：128×128/ 256×256
/ 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可调 |
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3.12 电流检测灵敏度≤10pA |
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3.13 力检测灵敏度≤5pN |
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3.14 预置隧道电流：1pA～50nA |
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3.15 偏置电压：-10～+10V |
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3.16
温湿度传感器，实时环境检测精度：温度0.1℃，湿度0.5％RH，液晶屏显示 |
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4.软件系统： |
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4.1 操作系统：Windows
98/2000/XP |
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4.2 在线控制软件：四窗口图像界面，可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆功能
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一个参数改变，相关参数会根据系统经验自动调节到最佳范围；压电陶瓷非 线 |
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性校正，曲面拟合校正，样品倾斜校正等。 |
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4.3 图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式转换，图像 |
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几何变换、调色板设置等。 |
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4.4 数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、各种曲线统计/分 |
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析等。 |
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4.5 软件开发模板：便于用户进行二次开发，完成特殊的数据处理功能。 |
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4.6 专业膜厚/台阶测量分析软件：用SPM仪器测量膜厚的技术关键在于有效搜寻到并能够控制探针移 |
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动到薄膜或者台阶的边沿，只有使用我们国内独家配置的高精度电控样品移动平台配合CCD系统 |
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才可以做到。 |
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4.7 远程控制软件：支持远程网控技术，提供远程培训、远程检修、远程实验服务（选配） |
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4.8 软件服务包：软件以插件方式终身享受免费升级服务。 |
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5.工作条件： |
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5.1 环境温度：0-35摄氏度 |
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5.2 相对湿度：0-65% |
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5.3 工作电压：220V（±10%），50Hz |
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6.专业SPM选配功能： |
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6.1
扫描声学显微镜：能够不破坏样品，获得反映材料
表面以下纳米尺度结构的声学像和性能的原
位检测。分辨率≤10nm，工作频率300Hz
~30kHz，工作电压：1~3V
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详情请点击了解 ZL Ac-II型扫描声学显微镜功能模块 |
无铅功能陶瓷3300nm
左图AFM形貌像，右图声学像 |
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6.2
磁力显微镜：分辨率50nm（硬盘或DV磁带磁畴振幅及相移图像验收），获得样品纳米尺度局域上 |
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形貌像和与其对应的磁畴结构及分布图 |
硬盘9534nm
左图AFM形貌像，右图MFM磁畴分布像 |
6.3
静电力显微镜：获得样品纳米尺度局域上形貌像和与
其对应的静电场分布图 |
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6.4
导电原子力显微镜：获得样品纳米尺度局域上形貌像
和与其对应的电流像；通过对偏压进行调制，可得
到样品表面局域I-V曲线等信息 |
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6.5
摩擦力显微镜：可定量评价极轻载荷下（10-7--10-9N）薄膜材料的摩擦学特性。 |
可用对分模式准确标定微悬臂与扫描方向的角度；
可连续改变正压力进行测量；
可同时测到样品起伏、针尖所受的起伏力、横向力；
可获取微观摩擦系数。 |
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6.6
液相SPM：配置液相环境探针装置和液池的智能针尖架，
实现液相SPM功能。用户使用液相SPM模式时，只需
插入智能针尖架，系统会自动识别针尖类型，软硬件会
自动切换到相应模式，无需人工干预。 |
液相SPM智能针尖架照片
（液相SPM非常适用于生物样品，而且对克服毛细力和消除静电也有显著的作用。） |
6.7
样品加热台
系统：
可以控制样品温度，控温范围：室温~150℃；精度0.5℃。
独特设计的样品冷却系统，使降温控制更加快速准确。
样品台直径30mm，选用低温度系数的合金材料，加热台
系统内绝缘层设计，可有效抑制热飘移现象对成像
质量的影响。 |
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样品加热台系统照片 和 结构图 |
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6.8 纳米加工：DPN浸润笔模式 |
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