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ZL AFM-II型
原子力显微镜 |
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这是一款适合教学与科研兼顾的SPM仪器，该机集成了扫描隧道显微镜、原子力显微镜的接触、侧向力工作模式；可以实现薄膜、块状等多种材质样品的纳米尺度形貌表征和分析。
如需要检测粉体、溶液、纤维、生物样品等柔软、易黏附的样品，请选购配置了AFM轻敲模式的ZL
AFM-III型扫描探针显微镜。原理细节可以参考“了解模块”中的相关内容。
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1.扫描系统： |
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1.1 扫描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲线；AFM接触/横向力模式，力曲线测量 |
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1.2 最大扫描范围：50μm*50μm |
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单一多量程自适应扫描器不更换技术，最大50μm扫描器可达HOPG原子分辨率 |
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1.3 分辨率： |
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STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定标 |
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接触模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定标 |
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单一多量程自适应扫描器不更换技术，最大50μm扫描器可达HOPG原子分辨率 |
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1.4 样品台尺寸：直径≤Φ65mm，厚度≤30mm，重量≤15g |
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1.5 探针识别：自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工干预。 |
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1.6探针保护：独特设计的针尖保护技术，包括自动进针保护和平滑移动保护，能有效降低样品对 |
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针尖的损伤，使仪器长时间保持高分辨图像。 |
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1.7探针趋近：高精度高速伺服电机，控制针尖自动逼近样品，行程<30mm，步长<23nm |
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1.8样品移动：手动精密机械二维移动平台（移动范围5mm×5mm，精度3μm）。 |
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可选配计算机控制高精度电控样品移动平台。 |
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1.9纳米加工：矢量刻蚀功能
、图形刻蚀功能 |
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2.控制系统： |
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2.1 控制/采集精度：采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，16通道双16位A/D |
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（精度相当于23位）；12通道16位D/A；4通道双16位D/A（精度相当于23位） |
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2.2 反馈方式：8通道 数字化反馈+数控模拟反馈 |
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2.3 中枢控制器：32位ARM技术，16 M RAM ，2M Flash ROM |
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2.4 高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；4通道双16位D/A（精度相当于23位）提供扫描器XYZ |
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三个方向的控制电压；可扩展到8通道 |
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2.5 计算机接口：EPP模式并行口
/ USB2.0接口 可选 |
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2.6 扫描频率：0.1～300Hz |
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2.7 扫描角度：-180˚~180˚连续可调 |
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2.8 图像采样点：128×128/ 256×256
/ 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可调 |
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2.9 电流检测灵敏度≤10pA |
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2.10 力检测灵敏度≤5pN |
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2.11预置隧道电流：1pA～50nA |
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2.12 偏置电压：-10～+10V |
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3.软件系统： |
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3.1 操作系统：Windows
98/2000/XP |
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3.2 在线控制软件：四窗口图像界面，可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆功能
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一个参数改变，相关参数会根据系统经验自动调节到最佳范围；压电陶瓷非 线 |
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性校正，曲面拟合校正，样品倾斜校正等。 |
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3.3 图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式转换，图像 |
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几何变换、调色板设置等。 |
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3.4 数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、各种曲线统计/分 |
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析等。 |
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3.5 软件开发模板：便于用户进行二次开发，完成特殊的数据处理功能。 |
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3.6 软件服务包：软件以插件方式终身享受免费升级服务。 |
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4.工作条件： |
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4.1 环境温度：0-35摄氏度 |
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4.2 相对湿度：0-65% |
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4.3 工作电压：220V（±10%），50Hz |
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5.可选配的功能模块技术参数--样品定位辅助模块 |
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5.1 高分辨CCD光学显微系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80—600倍，视场 |
1.6mm，工作距离10cm，配套控制及成像软件。一体式设计，工作过程中不必移开，可全程
随时观测。 |
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5.2
高精度电控样品移动平台：计算机自动控制，配合光学显微系统进行精确样品移动和定位。全程可视 |
5.2.1
移动范围5mm*5mm，单步最小步长50nm
5.2.2
高精度电控移动平台和单一大量程自适应扫描器技术结合，实现从最大量程到最小几纳米扫
描范围内，全程计算机控制样品定位，无盲点
5.2.3 直接用鼠标拖动待测区到目的地，计算机控制移动平台自动移动
5.2.4 可任意设置原点位置，一键返回（计算机控制移动平台自动回到设置的原点位置）
5.2.5
可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台自动到达各设定的测样点
5.2.6 可直接输入X、Y方向移动数值，计算机控制移动平台自动定位 |
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国内独家配置，其它厂商只提供手动调节的精密螺杆移动平台，无法实现样品精密定位搜寻。 |
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5.3
单一
大量程自适应扫描器：最大50μm扫描器可达HOPG原子分辨率
，测样过程中不用更换扫描器 |
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可实现从50微米—几纳米扫描范围连续定位高精度成像（全球独有核心关键技术） |
