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l 扫描模式：STM恒流/恒高模式；AFM接触/横向力/轻敲模式。
l 纳米加工功能：纳米刻蚀
l 最大扫描范围：100μm×100μm扫描器
l 分辨率：STM（X-Y向0.2nm；Z向0.02nm）
AFM（X-Y向0.3nm；Z向0.04nm）
l 超大样品台设计：样品尺寸≤Φ200mm，样品厚度≤12mm，重量≤15g
l 高精度X-Y样品移动平台：计算机控制，移动范围3mm×3mm，步长350nm
l 高分辨彩色CCD观测系统：视场1.6mm，光学分辨率1.5um，配套控制成像软件。
l 选用高精度高速伺服电机，步进马达控制自动逼近，行程<30mm，步长23nm
l 智能针尖识别功能：系统能自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式
l 采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，纹波噪声±150V时达到1.5mV，信噪比200000：1
l 扫描频率：0.1～100Hz
l 电流检测灵敏度≤10pA，力检测灵敏度≤5pN
l 计算机接口：EPP模式并行口
l 16个数据采集通道，其中任意4通道物理量同步采集、4窗口同时对比成像。
l 扫描角度：-180
~ +180°
l 图像采样点：256×256
/ 512×512 / 1024×1024
l 软件适用于WIN98/2000/XP操作系统 |
